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IWAKI半导体气动泵

  • 更新时间:  2020-04-29
  • 产品型号:  CFD 系列
  • 简单描述
  • IWAKI半导体气动泵
    高分辨率

    小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性。CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入。
详细介绍
品牌其他品牌应用领域化工,石油,能源,电子

IWAKI半导体气动泵

 

高分辨率

小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性。CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入。

 

耐腐蚀过流端

氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。针对化学腐蚀,PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。

 

广的吐出率调节

打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。

 

配备泄漏传感器

每台泵都配有泄漏传感器,可实时检测任何泄漏情况。

 

规格

大吐出量

1 mL/shot

大吐出压力

0.05 MPa

大冲程率

30 spm

主要材质

PTFE, PFA, PCTFE

液体输送温度范围

20 ~ 60 °C

更多产品 请点击 IWAKI半导体气动泵

                                                                                                                                                              


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