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派克parker隔膜阀

  • 更新时间:  2020-05-26
  • 产品型号:  UHP
  • 简单描述
  • 派克parker隔膜阀
    930 系列隔膜阀(1-1 / 8英寸的阀体尺寸)可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的可靠性,泄漏完整性和清洁度,使其在UHP半导体行业中成为理想的应用。
详细介绍
品牌其他品牌应用领域化工,石油,地矿,电子,交通

派克parker隔膜阀

派克930系列1-1 / 8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性,高循环使用寿命和低颗粒发生,非常适用于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可大限度地减少颗粒产生和截留,减少半导体应用中*的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供稳定和免维护的使用寿命。930系列阀门润湿部件由特种金属制成,提供的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™ 316L不锈钢材质。 Vericlean™ 是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮树脂(PEEK®)和聚酰亚胺(Vespel®)材质的阀座,可使930阀门与多种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点,给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选,包括930Y系列(Y型阀)和SM930系列(面板安装)。

930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试,以适应在苛刻的UHP应用中,保有其性能和稳定性。

市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点与优势:
• 电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)
• 高循环使用寿命(包括耐腐蚀性fu务)
• 内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig
• 内部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动,额定压力为75 psig

应用:
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱(VMB)


Vespel® 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商标
PEEK™ 是威格斯公司(Victrex plc)的商标。

性能特点

阀体材料 非常清洁的 316L不锈钢
隔膜材料 相当于埃尔吉洛伊非磁性合金(Elgiloy)
阀座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(标准),PEEK(聚醚醚酮树脂),聚酰亚胺(Vespel)
帽材料 17-4不锈钢
螺母材料 316L 不锈钢
壳体材料 阳极氧化铝
可承受压力 188 psig (13 barg) (AOPLP, G)
450 psig (31 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
爆破压力 375 psig (26 barg) (AOPLP, G)
900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
流速 Cv: 0.3 (AOP), 0.22 (Lever)
内部泄漏率 ≤ 1 x 10¯9 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 x 10¯10 scc/sec He
体积 2.64 cm3
重量 1.75 lb
0.8 kg
开关选件 单刀单掷(SPST)
瞬时性动作,不可调
输入电压 1/4 amp 在115 VAC(常闭)(AOPLPLSC,AOPMPLSC)
1/2 amp在115 VAC(常开)(AOPLPLSO,AOPMPLSO)
引线长度 7 inch
电气连接 26 AWG,UL1061型,相当于双绞线
1/8“ 镀锡端口
大入口额定压力 125 psig (AOPLP, G) | 300 psig (AOPMP, K, L, I, M, S) psig
8.6 barg (AOPLP, G) | 20.7 barg (AOPMP, K, L, I, M, S) barg
启动压力 75 psig 公称(5 barg)
烘烤温度 in the open position: 121 °C
在打开位置时耐温250 °F
da运行温度 66 °C
150 °F
低运行温度 -40 °C
-40 °F

 

派克parker隔膜阀


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